




在氧化层中大部分的电荷效应是直接或间接地同热氧化的工艺过程有关的。在800—1250~c的温度范围内,用干氧、湿氧或水汽进行的热氧化过程有三个持续的阶段,首先是环境气氛中的氧进入到已生成的氧化层中,然后氧通过二氧化硅向内部扩散,当它到达si02-si界面时就同硅发生反应,形成新的二氧化硅。这样不断发生着氧的进入—扩散—反应过程,使靠近界面的硅不断转化为二氧化硅,氧化层就以一定的速率向硅片内部生长。
我们知道,铁、铝在稀hno3或稀h2so4中能很快溶解,但在浓hno3或浓h2so4中溶解现象几乎完全停止了,碳钢通常很容易生锈,若在钢中加入适量的ni、cr,就成为不锈钢了。金属或合金受一些因素影响,化学稳定性明显增强的现象,铝钝化,称为钝化。由某些钝化剂(化学---)所引起的金属钝化现象,山西铝钝化,称为化学钝化。
当金属溶解时,处在钝化条件下,铝钝化哪里有,在表面生成紧密的、覆盖性---的固态物质,这种物质形成独钝化立的相,称为钝化膜或称成相膜,此膜将金属表面和溶液机械地隔离开,铝钝化怎么用,使金属的溶解速度---降低,而呈钝态。实验证据是在某些钝化的金属表面上,可看到成相膜的存在,并能测其厚度和组成。
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